Принцип действия микроскопов основан на применении фотоэлектрических преобразователей перемещений с линейными шкалами, которые позволяют производить отсчет перемещений координатного стола с выводом результата на устройство цифровое отсчетное.
Инструментальные микроскопы могут оснащаться видеосистемой для вывода изображения на монитор компьютера и программным обеспечением для автоматизированной обработки результатов измерения.