Для измерений геометрических параметров рельефа поверхности с субнанометровым пространственным разрешением на воздухе и в жидких средах. Область применения - в лаборатории Центра метрологического обеспечения и оценки соответствия нанотехнологий и продукции наноиндустрии ФГУП "ВНИИОФИ".
